微纳技术研究中心依托于所微纳加工支撑平台，是微纳技术与医用检验技术的交叉创新平台。中心目前有科研人员6人，其中研究员2人，副研2人，助研2人。承担国家、中科院、省、市等各类项目40余项，总科研经费达3000多万。中心聚焦于微纳材料与器件的跨学科、多尺度制造与应用研究，涉及机械、材料、计算机、光电子等学科，主要开展微流控芯片设计与制造、 微滴生成与操控、数字PCR、超精密微纳加工、表面增强拉曼光谱分析、纳米光学等相关技术研究。
中心具有国内一流的微纳米技术(MEMS/NEMS)加工平台，超净间面积近400平米，其洁净度覆盖了百级、千级、万级三个洁净级别。平台具备微纳米设计、加工与检测能力，具有开发各类微纳器件的技术支撑体系;主要设备有电子束光刻系统(E-Beam)、紫外纳米光刻/压印系统、反应磁控溅射仪器、等离子气相化学沉积仪(PECVD)、扫描电子显微镜(SEM)等设备，设备总价超3000万。
中心充分发挥了跨学科优势，在基础科研创新和产业应用方面都取得了丰硕的成果，在Analytical Chemistry、ACS Appl. Mater. Interfaces、Langmuir等国际期刊发表论文10余篇;在产业化方面，中心自2013年开展数字PCR技术的研发以来，联合试剂、软件、工程化团队完成了数字PCR的工程化，目前申请专利30余项，授权20余项。
微纳技术研究中心